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ARC8-MS4工模具真空离子镀膜机
详细信息
ARC8-MS4 是针对工模具开发的真空镀膜机，主要应用于滚齿刀、丝锥、铣刀等，可以镀制氮化钛、氮化铝钛、氮化铝钛铬等膜层。
具体技术规格如下：
| 真空室尺寸 | Ø1000mm * H1000mm |
| 极限真空度 | 1.0*10-4Pa |
| 压升率 | 0.33Pa/hr（常态） |
| 冷却水 | 6ton/hr |
| 占据空间 | 2*2*1m3 |
| 真空室 | 进口304不锈钢，双层内衬，五年质保 |
| 抽气系统 | 进口莱宝分子泵+莱宝罗茨泵+莱宝粗抽泵 |
| 真空检测 | 莱宝全量程真空计 |
| 流量控制 | Brooks/MKS/AE/可选 |
| 转架 | 可拉出转架 |
| 磁控溅射 | 4支柱状溅射靶 |
| 阴极电弧 | 8套复合磁场阴极弧 （靶材规格150*20） |
| 电源 | 美国AE品牌偏压 ，霍廷格中频电源 |
| 加热系统 | 最高500度，3根热电偶监测 |
| 冷却水循环系统 | 配日本SMC水流开关，智能控制 |
| 电气元件 | 日本三菱PLC、端子、施耐德等空开、接触器。 |
